碳化硅素生产设备
2021-12-14T12:12:29+00:00
技术碳化硅产业链条核心：外延技术 知乎 知乎专栏
Web碳化硅外延材料的主要设备，目前这个市场上主要有四家： 1、德国的Aixtron：特点是产能比较大； 2、意大利的LPE，属于单片机，生长速率非常大。 3、日本的TEL和Nuflare，其 Web碳化硅产业链目前分为衬底材料制备、外延层生长、器件制造以及下游应用几个环节。 通常首先采用物理气相传输法（PVT 法）制备碳化硅单晶，再在衬底上使用化学气相沉积 碳化硅产业链最全分析 知乎 知乎专栏Web碳化硅产业链也可分为三个环节：分别是上游衬底，中游外延片和下游器件制造。 ①海外碳化硅单晶衬底企业主要有Cree、DowCorning、SiCrystal、IIVI、新日铁住金、Norstel等 碳化硅SiC器件目前主要有哪些品牌在做？ 知乎
碳化硅外延设备产品与技术纳设智能官方网站 Naso Tech
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